某自动化元电子元器件打造客户坐落于长半圆区域,其主要生孩子集成系统线路板、半导体器件元器件等类产品。在生孩子阶段中,适用氢氧化钠做出硅片洗涤和蚀刻,有过量含氟废渣。鉴于地区节能环保需求要严,氟化物排放标准规定值为8mg/L,客户急需要施工专注清理基础设施。
废气成分表及来源地
废气首要位于这几个方式:硅片酸处理工步(氟有机酸废气浓硫酸氧化还原电位120-150mg/L)、的设备冲干净水(氟有机酸废气浓硫酸氧化还原电位80-100mg/L)与成品库室内地面洁净水(氟有机酸废气浓硫酸氧化还原电位30-50mg/L)。除氟化物外,废气中还内含进样器血本属(铜、镍)、有机酸物(异丙醇)及腐蚀性物料,pH值冲击在2-4之中。
处理工艺设计方法
选用"预处置+化学上水解+长度洁净"组合名字艺:
设定池
:回收各药厂车间废水处理工艺,实施土质储水量营养均衡,pH调低至6-
混疑滤渣
:添加氯化钙(CaCl₂)和聚合反应氯化铝(PAC),成型氟化钙沉淀自己
斜板沉淀池反映
:加盟聚乙烯酰胺(PAM)明显增强絮体沉降的性能
斜板沉垫池
:建立固液剥离 ,上清液开始下一道工序
活性酶类炭吸附性
:去掉残余有机酸物和轻微高价属
砂滤装置
:进几步虚报冒领飘浮物
pH乖离率指标
:确定满水后pH在6-9比率内
最后体验
模式不稳定性启用后查重数值表明:氟化物有机废气浓度从手表进水平均110mg/L降低5.2mg/L,除掉率达95.3%;COD从85mg/L降低20mg/L下类;天价属含量的均底于尾气尾气排放的规格。项目流程投資约280万块人民币,吨水加工成本投入3.8元,是完全满足了《废污水终合尾气尾气排放的规格》(GB8978-1996)特级的规格。