某光电器件电源芯片打造厂在晶圆加工制作工作中,运行硅烷做出硅外延性发育,尾气排放洗洁塔发现高质量浓度含硅废渣。废渣更具pH变化大(2-11)、硅含锌量高的优势,以往清理技巧易发现硅垢空气能管道堵塞故障 。
电镀废水部分及种类
化工废水主耍化学物质为:
融解性硅酸盐
:SiO₂酸度达1000-1500mg/L
氢防氧化钠/氢防氧化钠
:洗滌塔酸性洗滌液残渣
粒状硅
:納米级SiO₂溶液
痕量砷
:塑料原材料残渣带到
进行处理艺方案
创新性用"两极与+膜过滤水+蒸发掉晶粒"艺:
一级通过成绩与
:用CaO调整pH至4-5,转化硅酸钙发展,硅我们要除率60%。
二次元中合
:加Na₂CO₃将pH改善至9,进一大步沉积剩于硅,电容串联用镁剂除砷。
反渗透装置系统的
:0.02μm瓷质膜过滤清洁纳米级级硅粒子,通量安稳在80LMH。
MVR真空泵器
:沉淀高盐焦化废水,心得出Na₂SO₄副食品,水使用率超90%。
决定使用效果
总硅从1500mg/L降低5mg/L下面
砷含铁从0.8mg/L降为0.01mg/L
设备无水垢使用已超2年
年收回硫酸钠钠单晶体约800吨